Plonos plėvelės rezistorius yra rezistorius, įprastas elektroninis komponentas, pagamintas vakuuminio nusodinimo metodais, kad būtų galima uždėti varžinę medžiagą ant pagrindo. Jis skiriasi nuo storosios plėvelės rezistorių ne pagal medžiagą ar funkciją, o pagal gamybos būdus. Šis gana techninis apibrėžimas geriau suprantamas dalimis.
Rezistorius reiškia elektronikos architektūros elementą, kuris trukdo elektros srautui. Padidėjus varžos vertei, norint išlaikyti pastovią elektros srovę, reikės padidinti taikomą įtampą. Matematiškai tai yra Omo dėsnio R reikšmė, kuri susieja srovę (I) ir įtampą (V) – parodyta formule V=I/R – arba kitoje versijoje išreiškia galios (P) santykį su įtampa. formulėje P=V2/R. Įjungus įtampos ar srovės pokyčius, varža yra elektronikos „kalbos“, leidžiančios elektroniniu būdu įvertinti matematines išraiškas, dalis.
Gaminant plonasluoksnį rezistorių, naudojami du pagrindiniai vakuuminio nusodinimo būdai. Medžiaga, kuri bus naudojama kaip rezistorius, vadinama varžine medžiaga, išgarinama naudojant elektros šilumą ir kondensuojama ant paviršiaus. Antra, „purškiant“ dujinės plazmos jonai veikia ir suteikia energijos atsparioms medžiagos molekulėms. Šios molekulės išstumiamos nuo medžiagos ir ant substrato.
Pirmąjį metodą galima įsivaizduoti kaip purškiamus dažus, tiesioginį medžiagos panaudojimą. Antrasis gali būti laikomas purslų purslais iš rato, važiuojančio per purvo balą, netiesioginį medžiagos panaudojimą. Bet kuriuo atveju atsparios medžiagos sluoksnis yra toks plonas, kad yra vos kelių atomų ar molekulių gylio. Vykdant procesą vakuume, gaunamas tolygus sluoksnis ir išvengiama teršalų ar nepageidaujamų cheminių reakcijų.
Medžiagos, iš kurių gaminami rezistoriai, yra tantalo, bismuto ir rutenio junginiai, taip pat chromas, nikelis ir švinas. Yra tūkstančiai galimų junginių, įskaitant naujesnius organinius mišinius. Plonos plėvelės rezistorius yra brangesnis nei kitų tipų, bet taip pat turi mažesnius nuokrypius. Šie rezistoriai paprastai naudojami reiklesnėse programose, tokiose kaip aukšto dažnio ryšys ir skaičiavimas.
Kaip ir jų storosios plėvelės pusbroliai, plonasluoksniai rezistoriai gali būti apkarpyti, kad padidėtų jų įvertinimo tikslumas. Rezistoriai apipjaustomi šiek tiek per daug nusodinant reikiamą medžiagą. Tada kompiuteriu valdomi lazeriai išgraviruoja medžiagą, kol pasiekiama norima atsparumo vertė. Patobulintas ir taip tikslus plonasluoksnio rezistoriaus apipjaustymas lazeriu rodo labai mažus leistinus nuokrypius, kurių reikia šiandieniniams mažiems, greitiems, galingiems ir mažiau šilumos gaminantiems elektroniniams prietaisams.