Eksimeras yra trumpalaikis dviejų atomų derinys, vadinamas sužadintu dimeru, kuriame bent vienas atomas yra elektroniniu būdu sužadintas. Normaliomis sąlygomis atomai turi du elektronus kiekviename jų protonus supančiame energijos lygyje, o elektronai sukasi priešingomis kryptimis. Kai atomas sugeria energiją iš šviesos, vienas elektronas gali pereiti į didesnės energijos orbitą, palikdamas nesuporuotą elektroną. Atomas jungiasi su kitu atomu ir sudaro dimerą tik tokiomis sužadinamomis aplinkybėmis, o kai dimeras išskiria savo energiją ir elektronas grįžta į pradinę būseną, dimeras disocijuoja, skleisdamas fluorescencinę šviesą. Eksimeris paprastai gali trukti tik kelias nanosekundes.
Eksimeriniai lazeriai yra ultravioletiniai lazeriai, naudojami akių chirurgijai, mikroapdirbimui ir kompiuterių lustų kūrimui. Su slėgiu ir elektra lazeris sukuria dimerus, leisdamas elektros srovę per reaktyvių dujų, tokių kaip fluoras ar chloras, ir inertinių dujų, tokių kaip kriptonas ar argonas, mišinius. Inertinių dujų molekulės laikinai jungiasi su reaktyviosiomis dujomis, sudarydamos sužadintus junginius, kurie išskiria energiją spontaniškai arba stimuliuodami. Molekulėms išskiriant savo energiją ir disocijuojant, skleidžiama ultravioletinė (UV) lazerio šviesa.
Ultravioletinė šviesa sutrikdo molekulinius ryšius biologiniuose ar organiniuose audiniuose ar medžiagose. Jis mažai prasiskverbia, o paveiktas audinys suyra į orą, o ne sudega. Dėl šių priežasčių eksimeriniai lazeriai naudojami akies paviršiaus paviršiaus audinio formavimui arba pašalinimui. Lazerinis intersticinis keratomilieusis (LASIK) – tai eksimerinės UV spinduliuotės poveikis audiniui, esančiam po išoriniu ragenos atvartu, siekiant sureguliuoti ragenos kreivumą. Ragenos formos išlyginimas gydo trumparegystę, o ragenos sustangrinimas – toliaregystę. Be to, galima pašalinti netaisyklingus ragenos kontūrus, sukeliančius astigmatizmą.
Be akių chirurgijos, skirtos fokusavimo problemoms gydyti, eksimeriniai lazeriai turi ir kitų su sveikata susijusių pritaikymų. Eksimeriniai lazeriai buvo naudojami angioplastikos operacijose, siekiant atverti užsikimšusių arterijų užsikimšimus. Dermatologai naudojo ksenono chlorido eksimerus, kad suskaidytų įvairius odos pažeidimus, įskaitant vitiligo ir psoriazės. Oftalmologai eksimeriniu lazeriu gali tiksliai pašalinti paviršinius ragenos randus.
Giliosios ultravioletinės šviesos (DUV) lazeriai, naudojantys kriptono-fluoro arba argono-fluoro dimerus, skleidžia šviesą, kurios bangos ilgis yra nuo 193 iki 248 nanometrų (7.8 x 10-6 iki 9.8 x 10-6 colių). Pramoniniu požiūriu mikroschemų įrenginių gamintojai naudoja šiuos giluminius eksimerinius lazerius didelės raiškos fotolitografijai. Tai leido užfiksuoti duomenis net dešimtyje nanometrų erdvėje ir gaminti mažesnius, tankesnius kompiuterių lustus nei lustai, pagaminti naudojant seną technologiją. Mikroschemų dydis laipsniškai sumažėjo nuo 0.5 mikrometro (2 x 10–5 colio) 1990 m. iki maždaug 43 nanometrų (1.7 x 10 -6 colių) 2010 m. Be to, eksimeriniai lazeriai leido pjaustyti plastiką ir polimerus ypatingai. tikslumas.