Fizinis nusodinimas iš garų (PVD) yra procesas, naudojamas plonoms plėvelėms sukurti, perkeliant tikslinę medžiagą ant pagrindo. Perdavimas pasiekiamas grynai fizinėmis priemonėmis, skirtingai nei cheminis nusodinimas garais, kai plonoms plėvelėms sukurti naudojamos cheminės reakcijos. Šiuo procesu dažniausiai sukuriami puslaidininkiai, kompiuterių lustai, kompaktiniai diskai (CD) ir skaitmeniniai vaizdo diskai (DVD).
Yra trys pagrindiniai fizinio nusodinimo garais tipai: garinimas, purškimas ir liejimas. Garinimo metodai prasideda įdedant tikslinę medžiagą į vakuuminę kamerą, kuri sumažina slėgį ir padidina garavimo greitį. Tada medžiaga kaitinama iki virimo, o tikslinės medžiagos dujinės dalelės kondensuojasi ant kameros paviršių, taip pat ir ant pagrindo.
Du pagrindiniai fizinio nusodinimo garais šildymo būdai yra elektronų pluošto kaitinimas ir varžinis kaitinimas. Kaitinant elektronų pluoštu, elektronų pluoštas nukreipiamas į tam tikrą tikslinės medžiagos sritį, todėl ta sritis įkaista ir išgaruoja. Šis metodas yra geras norint valdyti konkrečias taikinio sritis, kurios turi būti išgarintos. Atliekant varžinį kaitinimą, tikslinė medžiaga dedama į talpyklą, dažniausiai pagamintą iš volframo, ir talpykla kaitinama didele elektros srove. Garinimo fizinio nusodinimo garais metu naudojamas kaitinimo būdas skiriasi priklausomai nuo tikslinės medžiagos pobūdžio.
Purškimo procesai taip pat prasideda nuo tikslinės medžiagos vakuuminėje kameroje, tačiau taikinį skaido dujų plazmos jonai, o ne garavimas ar virimas. Proceso metu per dujų plazmą teka srovė, dėl kurios susidaro teigiami katijonai. Šie katijonai bombarduoja tikslinę medžiagą ir pašalina mažas daleles, kurios keliauja per kamerą ir nusėda ant pagrindo.
Kaip ir garinimas, purškimo būdai skiriasi priklausomai nuo tikslinės medžiagos. Kai kurie naudos nuolatinės srovės (DC) maitinimo šaltinius, o kiti naudos radijo dažnio (RF) maitinimo šaltinius. Kai kurios purškimo sistemos taip pat naudoja magnetus, kad nukreiptų jonų judėjimą, o kitose bus mechanizmas, skirtas pasukti tikslinę medžiagą.
Liejimas yra dar vienas pagrindinis fizinio nusodinimo garais metodas ir jis dažniausiai naudojamas
polimeras
tikslinės medžiagos ir fotolitografija. Šio proceso metu tikslinė medžiaga ištirpinama a
tirpiklis
kad susidarytų skystis, kuris purškiamas arba sukamas ant pagrindo. Verpimas apima skysčio paskleidimą ant plokščio pagrindo, kuris po to sukamas, kol susidaro lygus sluoksnis. Kai tirpiklis išgaruoja, plona plėvelė yra baigta.