Fotokaukė yra nepermatoma plokštė, naudojama litografijos procesuose. Nepermatomame paviršiuje esančios angos arba skylės yra išdėstytos taip, kad pro ją prasiskverbtų šviesa, kuri perkelia piešinį iš fotokaukės ant kitos medžiagos, pavyzdžiui, popieriaus. Fotokaukės dažniausiai randamos puslaidininkių gamyboje, kur jos tiksliai perkelia vaizdus ir integrinių grandynų išdėstymą į grandinę. Šis procesas žinomas kaip fotolitografija.
Fotokaukės vaidina nepaprastai svarbų vaidmenį plėtojant pažangias technologijas mūsų visuomenėje. Šiuolaikinės technologijos reikalauja mažesnių komponentų, leidžiančių egzistuoti tokiems įrenginiams kaip labai maži rankiniai kompiuteriai ir kitos mažos apimties technologijos. Be fotokaukių ar litografijos šių įrenginių grandinių ir lustų išdėstymas negalėjo būti tiksliai perduodamas.
Fotokaukės dizainą nustato lustų gamintojai, kurių tikslios detalės aprašomos įvairiomis kalbomis ir priemonėmis. Dėl unikalių kiekvieno gamintojo dizaino specifikacijų fotokaukes gaminančios įmonės turi gerai išmanyti dizainą. Viena iš svarbiausių fotokaukių gamybos dalių yra pati kaukė. Daugeliu atvejų kaukė yra pagaminta iš aukštos kokybės chromo dėl jos tikslumo ir mažo gedimų skaičiaus.
Fotokaukės vaidina esminį vaidmenį puslaidininkių gamyboje, kuriai reikalingos litografinės procedūros. Šviesai per fotokaukę perduoti naudojami modernūs litografiniai įrankiai su didelės diafragmos lęšiais. Šių prietaisų projekcinė šviesa prasiskverbia per fotokaukės raštą, kuris projektuojamas ant silicio plokštelės. Vaflė padengta fotorezistu, kuris yra šviesai jautri medžiaga. Tada naudojamas neigiamas fotorezistas, kad būtų pašalinta užmaskuota medžiagos dalis; norint pakeisti procesą, naudojamas teigiamas fotorezistas.
Kiekvienam lusto sluoksniui reikalinga unikali fotokaukė. Dauguma puslaidininkių turi mažiausiai 30 sluoksnių, todėl kiekvienam puslaidininkiui reikia mažiausiai 30 unikalių fotokaukių. Tačiau fotokaukės yra kur kas daugiau nei tik būdas atsekti raštą ant lusto. Taip yra todėl, kad grandinės išdėstymas yra labai tikslus, o jų modeliai turi būti perduodami kuo tiksliau. Litografija leidžia itin tiksliai perduoti dizainą.
Fotokaukės padeda sumažinti kompiuterių lustus. Taip yra todėl, kad mažesniems lustams reikia labai tikslių jų bendro išdėstymo vaizdų, o tai beveik neįmanoma be litografinio proceso. Be fotokaukės maži rankiniai kompiuteriai būtų beveik neįmanomi, nes jų mažos grandinės ir lustai reikalauja tikslaus išdėstymo.