Plonosios plėvelės įtaisas yra bet kokio tipo komponentas, pagrįstas ypač plonais medžiagos sluoksniais, dažniausiai puslaidininkio silicio sluoksniais, kurių storis yra nanometrai arba milijardinės metro dalys, ir kartais dedami vienas ant kito, kad sudarytų sudėtingą plonasluoksnį įrenginį arba grandinę. Tai gali apimti bet ką – nuo tranzistorių matricų, naudojamų kompiuterių mikroprocesoriams gaminti, iki mikroelektromechaninių sistemų (MEMS), kurios yra smulkūs jutikliai, naudojami aptikti viską nuo radono ir dūmų namų gaisro detektoriuose iki mechaninio judėjimo, temperatūros pokyčių, aukščio virš jūros lygio. valdomos raketos. Kiti plonasluoksnių prietaisų pritaikymai apima dangas, tokias kaip veidrodžių sidabravimo procesas, optiniai sluoksniai, suteikiantys lęšiams unikalių savybių, ir magnetinės plėvelės, kurių pagrindą sudaro geležies junginiai, kaip nauja kompiuterio atminties forma. Pažangios baterijos, farmaciniai vaistai ir saulės elementų taikymas, pavyzdžiui, stogo čerpės, gaminančios savo elektros energiją, taip pat yra pagrįstos vienokios ar kitokios formos plonasluoksniu įrenginiu.
Yra įvairių cheminių, fizinių ir elektrinių metodų plonoms plėvelėms generuoti, kai kurios iš jų gali nusodinti plėvelės sluoksnius iki baigtinio atskirų atomų lygio. Ankstyviausios komercinės sėkmės formos plonasluoksnių nusodinimų srityje buvo silicio puslaidininkių junginiai. Grynas silicis, kaip pilnas izoliatorius, yra legiruojamas arba implantuojamas atskirais fosforo arba boro jonais vieno fosforo arba boro atomo greičiu kiekvienam milijardui silicio atomų, kad plona plėvelė būtų puslaidininkių elektrinių savybių. Nauji plonos plėvelės nusodinimo metodai dabar apima ypač smulkių polimerinių junginių sluoksnių kūrimą, kuriuos galima pritaikyti lankstiems saulės elementams ir organiniams šviesos diodams (OLED), naudojamiems televizorių, kompiuterių monitorių ir elektros skelbimų lentoms kurti.
Plonos plėvelės nusodinimo procesas yra labai reiklus ir tikslus mokslas, kurį iš dalies lemia subtili medžiaga, dažniausiai naudojama plonasluoksnių prietaisų komponentams, puslaidininkiniam siliciui (SGS) gaminti. Dešimtmečius trunkantys tyrimai ir plėtra šioje srityje leido pritaikyti plonų plėvelių technologiją naujoms medžiagų mokslo arenoms. Naudojant plonų plėvelių nusodinimo gamybos žinias ir nanotechnologijų tyrimų pažangą, atsirado vis platesnis plonasluoksnių prietaisų pritaikymo spektras.
Siekiant užkirsti kelią padirbtų vaistų importui, generuojami mikrotaškai ir dedami ant vaistų talpyklų, o plonos plėvelės dabar įtraukiamos į kovos su padirbinėjimu pastangas naudojant pinigus. Medicininiai implantai, tokie kaip stentai, yra plonos plėvelės prietaisas, skirtas pagerinti kraujotaką arterijose, padengtas mikroskopiniais galingų vaistų sluoksniais, kurie lėtai patenka į kraują. Nuo naudojimo toksikologiniuose tyrimuose iki galingų priešvėžinių vaistų tiekimo itin mažais kiekiais, kurie kitu atveju būtų mirtini, iki plonų aukso ir sidabro plėvelių pynimo į prabangius audinius, plonasluoksnio prietaiso koncepcija taikoma vis daugėjančiose srityse. ir pramonės šakos, kurios dėl itin mažo dydžio ir paslėptų funkcijų dažnai lieka nepastebimos visuomenės.