Kas yra purškiamas taikinys?

Purškiamasis taikinys yra medžiaga, kuri naudojama plonoms plėvelėms sukurti taikant metodą, vadinamą dulkinamuoju arba plonasluoksniu nusodinimu. Šio proceso metu purškiama tikslinė medžiaga, kuri prasideda kaip kieta, dujiniai jonai suskaidoma į mažas daleles, kurios sudaro purškimą ir padengia kitą medžiagą, kuri yra žinoma kaip substratas. Nusodinimas dulkėmis dažniausiai naudojamas kuriant puslaidininkius ir kompiuterių lustus. Dėl to dauguma purškiančių medžiagų yra metaliniai elementai arba lydiniai, nors yra keletas keraminių taikinių, kurie sukuria sukietėjusias plonas įvairių įrankių dangas.

Priklausomai nuo sukuriamos plonos plėvelės pobūdžio, purškiančių taikinių dydis ir forma gali būti labai dideli. Mažiausi taikiniai gali būti mažesnio nei vieno colio (2.5 cm) skersmens, o didžiausi stačiakampiai taikiniai siekia gerokai daugiau nei vieną jardą (0.9 m). Kai kuriai purškimo įrangai reikės didesnio purškimo taikinio ir tokiais atvejais gamintojai sukurs segmentuotus taikinius, sujungtus specialiomis jungtimis.

Purškimo sistemų, mašinų, kurios atlieka plonasluoksnio nusodinimo procesą, dizainas tapo daug įvairesnis ir specifiškesnis. Atitinkamai, taikinio forma ir struktūra taip pat pradėjo plėstis. Purškiamo taikinio forma dažniausiai yra stačiakampė arba apskrita, tačiau daugelis taikinių tiekėjų gali sukurti papildomų specialių formų paprašius. Tam tikroms purškimo sistemoms reikalingas besisukantis taikinys, kad būtų sukurta tikslesnė, tolygesnė plona plėvelė. Šie taikiniai yra suformuoti kaip ilgi cilindrai ir suteikia papildomų privalumų, įskaitant didesnį nusodinimo greitį, mažesnę karščio žalą ir didesnį paviršiaus plotą, o tai lemia didesnį bendrą naudingumą.

Tikslinių medžiagų purškimo efektyvumas priklauso nuo kelių veiksnių, įskaitant jų sudėtį ir jonų, naudojamų joms skaidyti, tipą. Plonos plėvelės, kurioms tikslinei medžiagai reikalingi gryni metalai, paprastai turės didesnį struktūrinį vientisumą, jei taikinys yra kuo grynesnis. Purškiančiam taikiniui bombarduoti naudojami jonai taip pat svarbūs norint sukurti tinkamos kokybės ploną plėvelę. Paprastai argonas yra pagrindinės dujos, pasirinktos jonizuoti ir inicijuoti purškimo procesą, tačiau taikiniams, kurių molekulės yra lengvesnės ar sunkesnės, veiksmingesnės yra kitos tauriosios dujos, pvz., neonas lengvesnėms molekulėms arba kriptonas sunkesnėms molekulėms. Svarbu, kad dujų jonų atominė masė būtų panaši į purškiančių tikslinių molekulių svorį, kad būtų optimizuotas energijos ir impulso perdavimas ir taip būtų optimizuotas plonos plėvelės lygumas.