Purškimas yra plonos plėvelės nusodinimo procesas, kurio metu kieta tikslinė medžiaga išstumiama ant pagrindo paviršiaus, kad susidarytų plona danga. Purškimo sistema yra mašina, kurioje vyksta purškimo procesas. Jame yra visas procesas ir vartotojas gali reguliuoti temperatūrą, galią, slėgį, tikslą ir pagrindo medžiagas.
Purškimas yra žinomas kaip fizinis nusodinimas garais, nes plona plėvelė susidaro fizinėmis priemonėmis, o ne cheminėmis reakcijomis. Purškimo sistemoje vakuuminėje kameroje yra tikslinė medžiaga, energijos šaltinis ir dujų plazma. Dujos, kurios paprastai yra tauriosios dujos, tokios kaip argonas, į kamerą įvedamos labai žemu slėgiu, kad būtų pradėtas procesas.
Energijos šaltinis generuoja elektronus, kurie bombarduoja dujų plazmą, o šie elektronai išmuša kitus dujose esančius elektronus. Dėl to dujos jonizuojasi ir susidaro teigiami jonai, žinomi kaip katijonai. Šie katijonai savo ruožtu bombarduoja tikslinę medžiagą, pašalindami mažas jos dalis, kurios keliauja per kamerą ir nusėda ant pagrindo. Purškimo sistemos kameroje procesas lengvai tęsiasi, nes jonizuojant dujų plazmai išsiskiria papildomi elektronai.
Purškimo sistemos skiriasi struktūra, maitinimo šaltiniu, dydžiu ir kaina. Tikslinės medžiagos ir substrato orientacija yra būdinga kiekvienai mašinai. Kai kurios sistemos bus nukreiptos į tikslinę medžiagą lygiagrečiai pagrindo paviršiui, o kitos pakreips bet kurį paviršių, kad susidarytų kitoks nusodinimo modelis. Pavyzdžiui, konfokalinis purškimas nukreipia kelis tikslinės medžiagos vienetus apskritimu, nukreiptu į židinio tašką. Tokio tipo sistemose esantį substratą galima pasukti, kad nusodinimas būtų tolygesnis.
Maitinimo šaltinis taip pat skiriasi, nes kai kurios sistemos naudoja nuolatinės srovės (DC) maitinimą, o kitos naudoja radijo dažnio (RF) energiją. Vieno tipo purškimo sistema, žinoma kaip magnetroninis purškimas, taip pat apima magnetus, stabilizuojančius laisvuosius elektronus ir išlyginančius plonos plėvelės nusodinimą. Šie metodai suteikia purškimo sistemai skirtingas savybes, susijusias su temperatūra ir nusodinimo greičiu.
Purškimo sistemos yra įvairių dydžių – nuo stalinių sistemų iki didelių mašinų, kurios yra didesnės už šaldytuvą. Vidinė kamera taip pat skiriasi dydžiu, tačiau paprastai yra daug mažesnė nei pati mašina; daugumos kamerų skersmuo yra mažesnis nei 1 jardas (apie 1 metras). Purškimo sistemos kaina svyruoja nuo mažiau nei 20,000 650,000 JAV dolerių (USD) iki daugiau nei XNUMX XNUMX USD už naują arba pagal užsakymą sukurtą sistemą.